真空设计手册(下册)


出版: 国防工业出版社
分类: TB7.00
形态: 约 310 页 - 211 章节

全文目录

第十一章 真空度测量与真空规校准
一、引言
第十二章 真空系统的气体分析与分压强测量
第十三章 真空检漏技术和仪器
第十四章 真空技术领域常用材料
第十五章 真空技术的常用工艺
二、真空规
(一)液体真空规
1.U形压力计
2.压缩式真空规
(二)弹性变形真空规
1.布尔登规
2.波纹管规
3.薄膜真空规
(三)热传导真空规
1.原理
2.热偶式真空规
3.电阻式真空规(热阻真空规)
(四)辐射计型真空规
1.原理
2.结构
3.测量范围
(五)粘滞性真空规
1.原理
2.结构
(六)电离真空规
1.概述
2.圆筒型电离规
3.中真空电离规
4.B—A规
5.调制型B—A规
6.放射线电离规
7.潘宁规
(七)极高真空测量
1.概述
2.极高真空规简介
3.展望
三、真空规校准
(一)概述
(二)绝对真空规比对校准系统
(三)膨胀式校准系统
(四)动态流量法校准系统
(五)趋势
四、真空度测量技术
(一)概述
(二)气体种类与真空规
(三)作为“气沉”和“气源”的测量系统
(四)非均匀环境中的真空度测量
(五)特殊条件下的真空度测量
(六)测量值的评价和误差
1.测量值的评价
2.规的抽气和出气所引起的误差
3.温差引起的误差
4.冷阱引起的误差
(七)选择、安装、规程
一、引言
(一)真空分析质谱计的主要应用范围
(二)对真空分析质谱计的一般要求
(三)能作真空分析的质谱计
二、真空质谱计的离子源
(一)传统电子碰撞式离子源
(二)传统碰撞源的改进形式
(三)磁控管型冷阴极离子源
(四)无磁场放电型离子源
(五)电子振荡型离子源
(六)脉冲电子碰撞源
(七)离子贮存式电子碰撞源
三、不同质量分离原理的质谱计
(一)回旋质谱计
(二)离子回旋共振质谱计
(三)磁偏转质谱计
(四)摆线质谱计
(五)飞行时间质谱计
(六)射频质谱计
(七)线振质谱计(静电质谱计)
(八)四极滤质器(四极质谱计)
(九)单极质谱计
(十)三维四极离子阱
四、真空质谱计的离子检测器
(一)电测法离子检测器的分类
(二)法拉第筒
(三)电子倍增器
1.静电式分离打拿极电子倍增器
2.静电式连续打拿极电子倍增器
3.磁式电子倍增器
4.电子倍增器的质量歧视效应
五、常用术语和真空质谱计的主要性能指标
(一)常用术语
(二)真空质谱计的主要性能指标
六、附表
一、引言
(一)真空系统中漏气、虚漏与抽气之间的平衡
(二)最大允许漏率
(三)真空检漏的目的
二、漏孔、漏率及标准漏孔
(一)漏孔
1.真空容器或器件中的漏孔形式
2.漏孔大小的表示方法
3.漏孔的气流特性
4.气体通过漏孔的时间
(二)漏率及漏率单位
(三)标准漏孔及其校准
1.什么是标准漏孔
2.标准漏孔的分类及特点
3.几种常用的标准漏孔
4.标准漏孔的校准
5.使用标准漏孔的注意事项
三、检漏方法和仪器
(一)检漏方法的分类
(二)气泡检漏法
1.打气试漏法
2.外真空法
3.热槽法
4.皂泡法
(三)放电管法与高频火花检漏器
(四)真空规检漏法
1.热传导真空规法
2.电离真空规法
3.差动真空规法
4.热传导真空规、电离真空规及差动真空规法的检漏灵敏度
5.具有冷吸附阱的真空规检漏器
6.扫描方向规检漏
7.其它方法
(五)氢—钯法
(六)静态升压法
(七)离子泵检漏器
(八)卤素检漏仪
(九)氨气检漏法
(十)氦质谱检漏仪
(十一)其它检漏法
1.超声检漏法
2.放射性同位素检漏法
3.荧光检漏法
四、氦质谱检漏仪
(一)质谱仪器与检漏技术
(二)氦质谱检漏仪的基本原理与组成
(三)氦质谱检漏仪的主要参数
1.灵敏度及其校准
2.反应时间、清除时间及其测定
3.工作真空、极限真空与节流阀处的抽速
(四)高灵敏度氦质谱检漏仪
(五)返流氦质谱检漏仪
(六)国产氦质谱检漏仪
五、如何选择检漏仪器、检漏方法和示漏物质
(一)选择检漏仪器和方法应注意的几个问题
(二)示漏物质的选择及使用中应注意的事项
(三)选择检漏方法和示漏物质时还要考虑的安全因素
六、氦质谱检漏技术
(一)检漏的物理过程及有关公式
(二)辅助真空系统
(三)氦罩法检漏
(四)压力检漏法
(五)检漏盒法
(六)背压法检漏
(七)喷吹法
(八)吸嘴法检漏
(九)检漏台
(十)累积法检漏
(十一)用选择性抽气方法提高检漏灵敏度
(十二)各种氦质谱检漏方法的应用
七、检漏的实践
(一)在真空工作的各个阶段都要考虑检漏工作
(二)检漏工作人员与检漏实验室(车间)
(三)如何进行检漏
一、材料的真空性能
(一)引言
(二)扩散、溶解、渗透
1.概述
2.石英、玻璃、陶瓷
3.金属
4.橡胶、塑料
(三)出气
1.概述
2.常温下材料的出气速率
3.常温下材料中各种气体的出气速率
4.高温下材料的出气速率及组份
5.高温下的出气总量和气体组份
(四)蒸气压、蒸发、升华速率
1.概述
2.各种元素和无机物的蒸气压
3.有机物的蒸气压
4.蒸发速率
二、真空材料
(一)壳体材料
1.金属及合金
2.玻璃和石英
(二)焊接、连接和封接材料
1.永久性连接
2.可拆连接
3.活动连接和堵漏材料
(三)泵工作物质
1.机械泵、蒸气流泵工作液
2.吸气剂和吸气剂泵材料
3.冷吸附泵、阱用物理吸附剂
4.低温泵、阱用冷冻剂
(四)真空规、质谱计用材
(五)高温真空装置用材
一、引言
二、真空零、部件的表面处理
(一)概述
(二)表面处理的基本方法
(三)清洗实例
三、真空设备制造中常用的几种焊接方法
(一)氩弧焊
(二)钎焊
(三)电子束焊
(四)其它焊接方法
四、玻璃、陶瓷工艺
(一)金属—陶瓷封接
(二)玻璃—金属封接
(三)玻璃的熔接和切割工艺

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